中芯国际从荷兰进口一台大型光刻机 已顺利进厂区

3月4日早上8点不到，中芯国际集成电路制造（深圳）有限公司从从荷兰进口的一台大型光刻机顺利通过出口加工区场站两道闸口进入厂区，这台机器主要用于企业复工复产后的生产线扩容。

截至3月4日，深圳出口加工区内企业复工复产率已达90%。据深圳海关已全面推广进出口货物“提前申报”通关模式，进口覆盖所有企业，出口只要是一般信用以上企业都可以按“提前申报”模式报关。

中芯国际表示，坪山海关一系列服务措施，保障设备第一时间进入厂区完成安装进入生产，生产线扩容后全年预计可为企业增加10%左右的营收。

对于产业内的人士来说，光刻机是最重要的核心内容之一，目前全世界最先进工艺的光刻机垄断集中在荷兰ASML、日本佳能、尼康手里。

光刻机作为集成电路制造中最关键的设备，对芯片制作工艺有着决定性的影响，被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”，制造和维护均需要高度的光学和电子工业基础。光刻机工作原理跟照相机类似，不过它的底片是涂满光刻胶的硅片，各种电路图案经激光缩微投影曝光到光刻胶上，光刻胶的曝光部分与硅片进行反应，将其永久刻在硅片上，这就是芯片生产最重要的步骤。